单温区cvd管式炉（低压/常压工艺）
· 2022-12-15
| 申购单主题： | 单温区CVD管式炉（低压/常压工艺） | 申购单位： | 先进能源学院 |
| 申购备注： |
| 设备名称 | 品牌 | 型号 | 数量 | 报价类型 |
| 单温区CVD管式炉（低压/常压工艺） | 科幂 | TFH-1200-100-440（含全套尾气处理装置） | 1 | 国内含税价/人民币 |
| 售后服务 | 需要签订采购合同，供应商需按要求提供保函。 | |||
| 规格 | 单温区CVD管式炉，技术参数如下：工作温度 最高温度: 1200℃ （使用时必须通入惰性气体以防止炉管发生形变）工作温度: 1100℃推荐升温速率:≤ 10℃ /min控温精度 ±1℃配制炉管尺寸 Φ100（外）x1000mm（其他可定制）炉膛尺寸 Φ120x440mm加热区 加热区长度: 440mm恒温区长度: 130mm （±3℃）控制方式 PID控制和自整定调节功能 智能化30段可编程控制 具有超温及断偶报警功能K型热电偶 可安装PC控制软件对数据进行实时采集（需另购） 密封系统 不锈钢密封法兰（包括316L针阀、真空机械压力表、软管接头）加热元件 北京首钢HRE额定功率 3KW额定电压 单相 AC220V 50/60HZ外形尺寸（长*宽*高） 580x420x520mm 配有机械泵以满足低压生长工艺（机械泵最低气压不高于10-4 torr）低压尾气处理参数需求： 系统承受最低气压不低于10-4 torr 双通机构并联机械泵及尾气处理装置，可在低压生长工艺结束后关闭机械泵及阀门，在充气后切换至尾气排放收集气路。 | |||
| 中标供应商 | 单价 | 初选理由 | ||
| 深圳金玛维基科贸有限公司 | 19000 | 最低价原则 |
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