半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目招标公告
· 2022-11-22
招标发布时间：2022/11/22 9:01:53
投标截止时间：2022/12/13 9:30:00
| 产品名称 | 采购量 | 产品描述 | 产品文件 | 图片 |
|---|---|---|---|---|
| 等离子体增强化学气相沉积系统 | 1批 |
- 发票要求：
- 不用发票（备注：专票资质可以报普票要求）
- 供应商性质：
- 注册资金：
- 无特殊要求
- 经营地址：
- 无特殊要求
- 投标要求：
- 收获地：
- >广东
- 交货期：
- 0天
一、项目基本情况
项目编号：1210-2241YDZB5585
项目名称：半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目
采购方式：公开招标
预算金额：37,822,000.00元
采购需求：
合同包1(深硅刻蚀系统等设备):
合同包预算金额：14,320,000.00元
| 品目号 | 品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 技术规格、参数及要求 | 品目预算(元) | 最高限价(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 1-1 | 其他专用仪器仪表 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 1,550,000.00 | - |
| 1-2 | 其他专用仪器仪表 | 等离子体增强化学气相沉积系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 1,985,000.00 | - |
| 1-3 | 其他专用仪器仪表 | 反应离子刻蚀系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 885,000.00 | - |
| 1-4 | 其他专用仪器仪表 | 低压化学气相沉积系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 3,000,000.00 | - |
| 1-5 | 其他专用仪器仪表 | 感应耦合等离子刻蚀系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 2,950,000.00 | - |
| 1-6 | 其他专用仪器仪表 | 深硅刻蚀系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 3,950,000.00 | - |
本合同包不接受联合体投标
合同履行期限：合同生效180天内中标人完成货物安装调试并交付使用。
合同包2(高真空电子束蒸发系统等设备):
合同包预算金额：7,062,400.00元
| 品目号 | 品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 技术规格、参数及要求 | 品目预算(元) | 最高限价(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 2-1 | 其他专用仪器仪表 | 微纳光电器件制备系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 1,430,000.00 | - |
| 2-2 | 其他专用仪器仪表 | 纳米压印系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 1,024,000.00 | - |
| 2-3 | 其他专用仪器仪表 | 高真空电子束蒸发系统 | 2(套) | 详见采购文件 | 2,560,000.00 | - |
| 2-4 | 其他专用仪器仪表 | 高精度拉伸测试仪 | 1(台) | 详见采购文件 | 128,400.00 | - |
| 2-5 | 其他专用仪器仪表 | 光学显微镜 | 2(台) | 详见采购文件 | 220,000.00 | - |
| 2-6 | 其他专用仪器仪表 | 磁控溅射镀膜系统 | 2(套) | 详见采购文件 | 1,560,000.00 | - |
| 2-7 | 其他专用仪器仪表 | 等离子去胶系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 140,000.00 | - |
本合同包不接受联合体投标
合同履行期限：合同生效180天内中标人完成货物安装调试并交付使用。
合同包3(集成电路测试系统等设备):
合同包预算金额：13,339,600.00元
| 品目号 | 品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 技术规格、参数及要求 | 品目预算(元) | 最高限价(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 3-1 | 其他专用仪器仪表 | 集成电路测试系统 | 2(套) | 详见采购文件 | 6,600,000.00 | - |
| 3-2 | 其他专用仪器仪表 | 功率电源 | 30(套) | 详见采购文件 | 630,000.00 | - |
| 3-3 | 其他专用仪器仪表 | 逻辑分析仪 | 2(套) | 详见采购文件 | 112,000.00 | - |
| 3-4 | 其他专用仪器仪表 | 多路数据采集仪 | 2(套) | 详见采购文件 | 55,600.00 | - |
| 3-5 | 其他专用仪器仪表 | 实时频谱分析仪 | 2(套) | 详见采购文件 | 92,000.00 | - |
| 3-6 | 其他专用仪器仪表 | 第三代半导体器件功率循环测试系统 | 3(套) | 详见采购文件 | 2,640,000.00 | - |
| 3-7 | 其他专用仪器仪表 | SiC器件动态试验系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 1,150,000.00 | - |
| 3-8 | 其他专用仪器仪表 | GaN器件寿命试验系统 | 2(套) | 详见采购文件 | 2,060,000.00 | - |
本合同包不接受联合体投标
合同履行期限：合同生效240天内中标人完成货物安装调试并交付使用。
合同包4(单面对准光刻系统等设备):
合同包预算金额：3,100,000.00元
| 品目号 | 品目名称 | 采购标的 | 数量（单位） | 技术规格、参数及要求 | 品目预算(元) | 最高限价(元) |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 4-1 | 其他专用仪器仪表 | 单面对准光刻系统 | 3(套) | 详见采购文件 | 1,650,000.00 | - |
| 4-2 | 其他专用仪器仪表 | 湿法刻蚀与清洗系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 400,000.00 | - |
| 4-3 | 其他专用仪器仪表 | 单片清洗系统 | 1(套) | 详见采购文件 | 1,050,000.00 | - |
本合同包不接受联合体投标
合同履行期限：合同生效180天内中标人完成货物安装调试并交付使用。
友情提示：
为保证您能够顺利投标，请在投标或购买招标文件前向招标代理人咨询投标详细要求，具体要求及项目情况以招标代理机构或招标人的解释为准。
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