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自适应超快激光自聚焦及校准加工装备

· 2022-10-17
自适应超快激光自聚焦及校准加工装备
项目所在采购意向: 北京理工大学2022年11至12月政府采购意向
采购单位: 北京理工大学
采购项目名称: 自适应超快激光自聚焦及校准加工装备
预算金额: 165.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100399其他光学仪器
采购需求概况:
自适应超快激光自聚焦及校准加工装备:1自适应超快激光自聚焦及校准加工装置:参数要求:最小检测区域 >40×40um;重复定位精度为 0.1um;直线性±2.8um;采样周期内部触发133ms、外部触发266ms;静态自动对焦精度±1/4物镜深度;动态自动对焦精度±1/2物镜深度;自动对焦可靠性1/3物镜深度;采购数量:2;2.3D位移测量传感器:参数要求:采样周期:133ms;数据采集分辨率0.25um;基准距离:7mm;光源输出功率:10mw;重复精度Z:0.3um;基准距离:7.5mm;轮廓数据间隔X:2um~;采购数量:1;3.面结构位移传感器:参数要求:采样周期:133ms;重复定位精度为 0.1um;数据采集分辨率0.25um;三维测量最大检测范围:15×15um;参考距离:18mm;数据采集分辨率:1um;光源输出功率:3.6mw;采购数量:1;4.一维高精度位移测量传感器:参数要求:采样周期:133ms;重复定位精度为 0.1um;数据采集分辨率0.25um;直线性:±0.55um(±0.43um)基准距离:7mm;采购数量:1;
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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