序号

名称

数量（件）

技术参数

1

超高真空祛气炉

1

1.结构形式：卧式前开门结构；

2.最高工作温度：1100℃；

3.有效均温工作区： φ600×600×900（mm）；外形尺寸尽可能缩小

5.温度均匀性：≤±3℃；

6.三段加热，一键同时启动三段加热；

7.常用工作温度：800℃～950℃；

8.空载冷态极限真空度：优于5×10-5Pa；

9.空载状态，升温过程中，温度稳定状态，真空度维持在10-4Pa量级；

10.不要观察窗；

11.台面高度小于1000mm。

12.温度控制：设定程序自动控温，手动控温。

2

双真空排气台（端部降温氘氚）

1

功能参数

1) 实现无油超高真空；

2) 可对所有管路和工位进行烘烤加热和温控；

4）可充入1路工艺气体；

5）具有停电、停气和分子泵启动互锁保护功能；

6）具有超压、超温报警和保护功能；

7）具有工艺数据自动保存和读取功能；

2.2 技术指标

2.2.1排气台高度尺寸

1）操作台台面高度: ≤1000mm。

2）工位台高度: ≤1200mm。

3）设备总高度（钟罩升起后的总高度）：≤2500mm。

2.2.2钟罩

1）钟罩内部尺寸：内腔尺寸大约Φ480×600mm；

2）双层水冷不锈钢真空腔，内表面电抛光，外表面喷丸；

3）升降机构为涡轮蜗杆升降；

4）钟罩冷却方式为水冷；

2.2.3真空度（常温空载）

1）钟罩极限真空度 ≤5×10-5Pa；

4）系统极限真空度（含充气部分）≤2×10-7Pa；

2.2.4漏率

漏率≤ 5×10-9Pa.m3/s

2.2.5烘烤

1）钟罩烘烤温度20-600℃，温度均匀性±10%，连续加热时间大于48小时；

2）设备管路烘烤温度200℃；

2.2.6材料

1）钟罩采用不锈钢制造；

2）主管路部分应采用316L不锈钢；

2.2.7真空测量

1）薄膜压力计规管1套；

2）管路真空计为高真空程控真空计；

3）钟罩及工件真空计为复合真空计，测量前级真空与钟罩真空和工件真空；

2.2.8真空泵

1）设备抽气泵组为无油泵；

2）前级泵为干式机械泵；

3）主抽泵为脂润滑分子泵；

4）超高真空维持泵离子泵。

2.2.9阀门

1）设备管路工件抽气阀门为寿命>10000次的VAT全金属手动角阀；

2）设备配制1路微量调节进气阀门，给设备管路进给工艺气体；微量进气阀为国产产品。

2.2.10控制

1）设备配备工控机，配套显示屏为17寸；

2）控制真空泵、烘烤，远程监测真空测量、RGA数据显示和采集；

3）工控机与PLC通讯模块通讯，控制温度，工控机可将温度参数记录和存储下来；

4）工控机与真空计通讯，将真空度记录和存储下来，真空度超标时报警并记录；

5）工控机与四极质谱仪通讯，将四极质谱仪参数记录和存储下来；

6）工控机与薄膜规通讯，将压强参数读取，记录和存储下来；

7）工控机具有设备循环水欠压、过压以及无水报警功能

含端部降温结构（端部温度100~150摄氏度）温度可调节。

3

双真空排气台（端部加温氘氚）

1

功能参数

1) 实现无油超高真空；

2) 可对所有管路和工位进行烘烤加热和温控；

4）可充入1路工艺气体；

5）具有停电、停气和分子泵启动互锁保护功能；

6）具有超压、超温报警和保护功能；

7）具有工艺数据自动保存和读取功能；

2.2 技术指标

2.2.1排气台高度尺寸

1）操作台台面高度: ≤1000mm。

2）工位台高度: ≤1200mm。

3）设备总高度（钟罩升起后的总高度）：≤2500mm。

2.2.2钟罩

1）钟罩内部尺寸：内腔尺寸大约Φ480×600mm；

2）双层水冷不锈钢真空腔，内表面电抛光，外表面喷丸；

3）升降机构为涡轮蜗杆升降；

4）钟罩冷却方式为水冷；

2.2.3真空度（常温空载）

1）钟罩极限真空度 ≤5×10-5Pa；

4）系统极限真空度（含充气部分）≤2×10-7Pa；

2.2.4漏率

漏率≤ 5×10-9Pa.m3/s

2.2.5烘烤

1）钟罩烘烤温度20-600℃，温度均匀性±10%，连续加热时间大于48小时；

2）设备管路烘烤温度200℃；

2.2.6材料

1）钟罩采用不锈钢制造；

2）主管路部分应采用316L不锈钢；

2.2.7真空测量

1）薄膜压力计规管1套；

2）管路真空计为高真空程控真空计；

3）钟罩及工件真空计为复合真空计，测量前级真空与钟罩真空和工件真空；

2.2.8真空泵

1）设备抽气泵组为无油泵；

2）前级泵为干式机械泵；

3）主抽泵为脂润滑分子泵；

4）超高真空维持泵离子泵。

2.2.9阀门

1）设备管路工件抽气阀门为寿命>10000次的VAT全金属手动角阀；

2）设备配制1路微量调节进气阀门，给设备管路进给工艺气体；微量进气阀为国产产品。

2.2.10控制

1）设备配备工控机，配套显示屏为17寸；

2）控制真空泵、烘烤，远程监测真空测量、RGA数据显示和采集；

3）工控机与PLC通讯模块通讯，控制温度，工控机可将温度参数记录和存储下来；

4）工控机与真空计通讯，将真空度记录和存储下来，真空度超标时报警并记录；

5）工控机与四极质谱仪通讯，将四极质谱仪参数记录和存储下来；

6）工控机与薄膜规通讯，将压强参数读取，记录和存储下来；