分子束外延系统
· 2022-09-01
| 分子束外延系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012022年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 分子束外延系统 |
| 预算金额： | 203.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 研究团队需要在2022年完成购置一套用于原位构筑（磁性）拓扑绝缘体与超导异质结构的分子束外延系统，在不破坏真空的情况下可以满足原位制备多种不同的（磁性）拓扑绝缘体-超导材料异质结构、平面器件和约瑟夫森结构的需求，为“基于量子反常霍尔效应边缘态拓扑量子计算研究”奠定材料基础。该系统需要实现以下功能或者目标：1.样品尺寸最大为10mmⅹ10mm的标准分子束外延设备，适配flagtype样品架，具有主腔室和快速进样室。主腔室真空优于1ⅹ10-10mbar；2.主腔室具有反射式高能电子衍射仪及配套数据采集软件，原位实时监测薄膜样品生长质量；3.主腔室具有配备真空计、膜厚仪等原位实时监控真空状况及蒸发源束流大小；4.主腔室具有独立加热台（800℃以上）和水平制冷台（100K以下，可绕轴旋转），加热台加装原位掩膜板台，可以原位更换掩膜板，原位制备平面图形器件，掩膜板与样品间距可调；5.配至少10个蒸发源；6.主腔室预留法兰口，未来与实验室已有的其他设备进行真空互联；7.快速进样室有存样台（至少3个存样位）和预加热处理台（400℃以上）；8.系统稳定，厂家需要提供24小时内回复的售后服务，并在后期提供相应的配件和技术支持；9.采购完成后一年内完成设备安装和验收。 |
| 预计采购时间： | 2022-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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